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電子行業潔凈保障，冷鏡式露點儀守護半導體生產環境

更新時間：2025-09-01   點擊次數：314次

電子行業的半導體芯片、液晶面板生產，對潔凈車間的濕度（露點）要求極-高 —— 低露點環境可防止芯片受潮氧化，避免電路短路。冷鏡式露點儀憑借超高精度與實時監測能力，成為電子行業守護生產環境的 “潔凈保障"。

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在半導體晶圓制造的光刻環節，潔凈室露點需控制在 - 70℃Td 以下（極-高潔凈度等級），儀器采用超高精度制冷系統（控溫精度 ±0.05℃），搭配激光凝露檢測技術，可精準捕捉極低露點下的微量水分，測量范圍覆蓋 - 80~+5℃Td，分辨率達 0.001℃Td，滿足 SEMI F21-0706《半導體制造環境濕度測量指南》要求。針對液晶面板生產的無塵車間，儀器支持多點組網監測（最多可連接 32 個檢測點），實時監控不同生產區域的露點差異，避免因局部濕度偏高導致的面板不良率上升。

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儀器外殼采用防靜電材質，符合電子行業 ESD 防護要求，可避免靜電干擾芯片生產。數據支持與電子廠 MES 系統聯動，當露點超出閾值時，立即觸發車間新風系統調整，響應時間≤10s，確保潔凈室露點穩定。應用后，半導體芯片的不良率可降低至 0.1% 以下，為電子企業減少巨額損失。


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